高真空檢漏儀在將樣品放進電鏡前，仔細檢驗樣品芯片安放是否存在泄露是必要的，這可以提高原位樣品臺的使用效率，保護透射電鏡。該設備是專門用于TEM樣品臺真空儲存和密封檢查。它能夠在5 min內將系統內真空度抽至10^(-5) mbar，即TEM內的真空環境。搭配的超高分辨數字顯微系統，自帶13寸顯示器及自動變焦功能，放大倍率達200X，分辨率達1 μm。研究人員可輕松完成液體池/氣體池的密封性、完整性檢查。并可觀察芯片窗體是否破裂或者污染，檢驗樣品在窗體分布情況。